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第二百二十一章 就算是破烂那也是世界第二（第1页）

深城，南方光学，这是一家仙女山控股投资创办的企业，在收购了一家颇有历史的光学企业之后，大力招揽光学领域的人才。

依托国内现有的一些供应链，南方光学在去年的时候先是搞定了可商用的I-LINE光刻机的光源系统，随后去年又搞定了KRF光源系统，协助海湾科技搞出来了KRF光刻机，并进行了商用化。

目前正在进行DUV干式光刻机所需要的ARF光源系统的研发。

如今的南方光学，已经迅速成长为国内光学领域里的龙头企业，其实力已经超过了国内其他的一些光学企业。

但是即便如此，技术积累也严重不足，搞ARF光源的时候遇到了无数的麻烦，不久前的光源测试又失败了。

这让南方光源的一群核心研究人员愁眉不展！

“这么下去不行啊，我们的研发进度已经拖延了不少，海湾科技那边都已经把机台搞出来了，就等着我们的光源呢。”

“上一次的测试失败，关键还是材料问题，其中的几种材料因为性能参数太低，我们不得不采用了多种折衷的办法来实现设计效果，但是绕了太多弯路，导致整个系统太复杂，故障率也是水涨船高！”

“这样的光源系统看似是做出来了，但是根本没办法用于商用！”

而就在这个时候，南方光学的科研老大，来到了仙女山控股总部公司里，看到了一枚小小的闪存芯片。

随后打开，并输入了复杂密码对内部储存的文件进行了解密后，这个负责人眼睛都呆住了。

“这些资料从哪里来的？”

“这是EUV光源系统的整体设计啊，而且还如此的详细，涉及到了每一项零配件的详细参数！”

“还有这个ARF光源系统，这不就是ASML现在的DUV光刻机上用的光源系统嘛？你们怎么弄来的这这些资料啊？”

仙女山控股过来送资料的人道：“别问我，我也不知道，我劝你最好也别问，很多事知道的太多对你没什么好处！”

“让你过来，是让你充当顾问，指导我们对文件进行删改，只要要把这些同行公司的名称给删除了，不然直接拿去给技术人员看，影响不太好！”

“没问题，我保证把文件删改的让人看不出来明显痕迹，不过这技术特征太明显了，这要是原样做出来的话，稍微懂行的人都能看出来我们是抄的！”

“那就是抄的呗，国内的DUV光刻机多了去，我们拆开几台看看，抄一抄也是很正常的！”

不用多久，经过了初步整理的资料被送到了南方光学，并陆续以各种名义分批，分批发放部分ARF光源系统的研发资料。

问就是公司机密，别问那么多。

然后南方光学在ARF光源领域的研发瞬间提速……当然，就算是提速了也不可能一下子就把成熟可用的ARF光源系统弄出来，其中不少是涉及到原料的难点，人家给的资料只是告诉你用什么材料做，材料要达到什么性能。

但是材料怎么来的……这就需要南方光学自己要么自己研发，要么满世界寻找供应商了。

“目前DUV光刻机的研发还是比较顺利的，也许今年夏天的时候我们就能够做出来第一台的样机，如果没有出现什么大问题的话，秋天的时候我们就能尝试做几台交付智云微电子那边进行测试，明年就能进行大规模量产！”

海湾科技的总经理王道林，心情很不错的出现在柳河投资的董事长办公室里，一边泡着茶一边道：“徐董你大可放心，本来我对这个DUV干式光刻机项目多少还有些信心不足，不过最近一年来各子系统的推进进展非常顺利，光源系统的南方光学已经给我打了包票，说他们最迟在六月份就交付第一套的ARF光源系统，这套光源系统是波长193纳米的，而且不是之前的那种测试用的光源，而是可以直接使用的光源！”

“北林精密的双工作台做起来虽然难一些，做起来的性能参数不如国外同类产品，但是勉强也可以用！”

“其他的几个子系统如今大多也做的差不多了，就等着光源那边搞定，然后我们就尝试搞一台样机出来了！”

徐申学面带微笑听着，时不时喝口茶：“这是大好事啊，有了这个DUV干式光刻机，那么智云半导体那边的六十五纳米工艺节点也就有了自家的光刻机可用了！”

“加油干，光刻机乃是半导体产业链里的核心设备，尽快搞出来，此外其他的一些关键设备也不能落下，记得我们的目标，不是单纯的光刻机，而是整条生产线上的关键设备。”

“能搞的都要搞，搞不了的也要强行搞，我们要的不是一台孤零零的光刻机，而是一整套的先进工艺芯片生产线，所以其他的几种关键设备也要尽快进度。”

王道林道：“明白的，我们海湾科技里的项目是非常多的，前道光刻机也只是我们公司里的其中一个重要项目而已，我们在后道光刻机领域上也进展非常快，已经大量给智云微电子乃至其他一些芯片厂商供货了，而且我们的后道光刻机技术推进非常快速，已经迭代了第三代，我们的第三代后道光刻机，甚至都可以满足三十二纳米乃至潜在更低的二十八纳米制程工艺的生产了，并且在生产效率上并不会比国外同类产品差。”

“同时我们的成本更低，售价更低，维护以及耗材费用也更低，在市场上具有很不错的竞争力。”

“甚至是一些国外的芯片工厂已经开始咨询我们，尝试采购我们的第二代或第三代后道光刻机了！”

“然后还有蚀刻机项目、离子注入机这两项关键设备，也是我们公司的重点项目，我们都已经研发出来了第一代产品，并供应给了智云微电子那边用于低制程工艺生产！”

“目前智云微电子那边的130纳米节点以上的落后工艺的多种关键设备，都已经转为采购我们海湾科技的设备了，整体来说我们的这两种设备还处于第一代，效率上差一些，故障小毛病也多，但是我们的出货价更便宜，只有进口产品的几分之一的价格，后续维护、零配件的价格也更便宜，因此算到最后的芯片生产成本上，大概能够做到和进口设备的生产线持平！”

“如今我们公司正在组织精干力量，并汇同供应商一起攻坚第二代蚀刻机以及离子注入机项目，争取年底看看能不能把第二代也弄出来，以满足六十五纳米节点工艺的生产线需求！”

“此外智云微电子那边，他们自己也有设备部门，自研了一部分关键设备以及常规设备，他们的清洗设备以及去胶设备就做的很不错。”

“我们海湾科技以及智云微电子的设备自研部门，所研发的各项半导体生产线设备，基本上覆盖了生产线的几乎所有核心关键设备，一些没有搞的设备，也能在国内能够找到供应商。”

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