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这个方法被称为西门子法。
双方分歧就在这一步。
西门子法虽然被各国广泛采用,但传统西门子法在效率、能耗、生产成本都不太理想。
因此,周博采用了更先进的改良西门子法。
能耗显著降低,同时效率提升一倍以上。
传统西门子法中,硅的沉积率只有约1%-15%。
如果采用改良西门子法,沉积率提高到3%。
很快,众人来到提纯车间,聚集在一个4米长的圆柱形金属腔体前。
这是硅提纯的关键设备,反应炉。
提纯时,将多根细长的硅棒(硅芯)插入反应炉。
然后通过沉积(cVd)反应,在高温下将硅沉积到细长的硅棒上,形成高纯度多晶硅。
罗曼诺夫道:“周博达瓦里希,这是你们设计的反应炉,怎么能横式布置呢。
你知不知道,如果气体分配不均匀,硅纯度就无法保持一致。”
罗曼诺夫的声音有些着急,看得出来,他还是很敬业的,对工作一丝不苟,并没有因为是夏国项目就有所懈怠。
周博笑了笑,传统西门子法都是立式炉,横式炉是后世设计,效率更高。
“罗曼诺夫同志,横式炉是新式方案。
气体流场经过优化,硅纯度绝对可以保证!”
“你确定?”
“当然!”周博自信十足。
“不仅如此,横式炉效率还更高。
我问你,你们的反应器能沉积几根硅棒?”
“八根!”
罗曼诺夫回答道,声音带着几分自信。
他知道,这个数字在全球算是领先的。
周博笑了笑,淡淡道。
“我们的横式反应炉可同时沉积36根硅棒···”
36根!
一众毛熊专家都瞪大了眼睛。
qu4.。qu4.
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