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第一百三十三章 刀具的lifetime(第2页)

“谢谢!”辛佟点了点头。

采用报警提醒功能不错,这种从源头预防的方法才是正确的管控方式!

“切割道宽度是多少?”用肉眼看上去,切割后的晶圆依旧完整无缺,提到刀具,辛佟忍不住好奇地问道。

“这把刀能够达到的最小切割线宽度是35微米。”谢工用手指着切割刀说道。

35微米!难怪切割无痕啊!

辛佟静静地盯着切割台,很快一层蓝色的薄膜引起了他的兴趣,在减薄工序他也看到过这层蓝膜,不过到了切割工序,蓝膜是固定在一个金属钢圈上。

“非常有意思,晶圆下面的蓝膜套在了钢圈上!”辛佟说道。

“这层tape是为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤,切割分离后的晶粒会粘在蓝膜上,钢圈是用来固定蓝膜的。”谢工解释道。

“噢!”辛佟点了点头。

他静静地看着晶圆切割,除了金庸的武侠小说,他还从来没有见过也从来没有听过有如此又快又锋利的刀!

这真是一把惊世好刀!

大开眼界了!

冷静思考了一下,对于一刀切他还是充满了疑问,担心切割应力会造成晶圆崩边:“谢工,我们减薄后的晶圆厚度还有150微米,一刀切到底是否合理?”

“辛经理,实践经验告诉我们一刀切问题不大,当然现在有切两刀的工艺,叫阶梯切割(stepcut),用两把刀片完成对晶圆的切割,切两刀这种工艺可以有效改善芯片崩边的问题。”谢工说道。

“谢工,我们摩托罗拉项目需要采用阶梯切割,一刀切的风险太大了!”辛佟说道。

虽然没有实践经验,前一世他是理科大神,从受力分析,他觉得两刀切对晶圆施加的应力会少很多,肯定质量更好。

“好的,我今天就安排假片试试这个工艺!”谢工点了点头。

“你可以先试一试,我要的是doe分析过的工艺,确保万无一失!”辛佟笑着说道。

姜华站在一旁,看他指点四大天王之一的谢剑风,惊讶得说不出半句话来!

这个辛佟早就不是当年那个学渣了!

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炼金丹!驭神兽!绝色嫡女倾天下  公府恶女  我在惊悚游戏里成最强打工人  女穿男:清冷影后疯狂爱上我  快穿:又是糖分超标的一天  神符奇箓  真实元眼  宇宙思维  叶昭之重新开始  姜可(H)  万倍赠礼返还:我,万界第一舔!  我在魔法学院御剑飞行  他们负责美她负责挡刀  武修崛起  全球降临:我的假面骑士生涯  弃妃翻身,王爷日日求复合  猛龙出狱  军婚守寡四年,她带崽杀进家属院  被骗嫁妆后,当家主母她撂挑子了  快穿:疯批钓系宿主把神尊撩疯了  

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