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第248章 光刻厂项目（第3页）

激光和电子微聚束要以巧妙的角度调制。

怎么保持好角度也很困难。

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目前，高能所的第四代同步辐射光源，还没获突破性进展。

想通过复杂的插入件技术，让光源质量进一步提升，有了更精尖的运用场景。

虽然还达不到用来制作光刻机，也就是在极紫外光源段，质量不够、不够细腻和稳定。

赵教授提出的SSMB方案——稳态微聚束。

两者结合，能起到不错的效果。

SSMB方案，把自由电子激光（FEL）搬进了同步辐射储存环内。

为同步辐射的储存环引入一个插入件。

这是高能所未来第四代高能同步辐射光源的研究成果。

加上SSMB方案，让其拥有了产出高质量极紫外光源的能力。

唯一的缺点就是：贵！

同步辐射光源来制造‘光刻机’，理论可行，加上SSMB方案更可行，就是造价高！

同步辐射装置造价成本高达数十亿。

但是李易不差钱啊？！

但这东西，需要官方配合，同步辐射装置也不是谁都可以建设的。

这玩意……占地就有几十公顷！

几百亩土地！

不过在燕都、临海、庐州，都有同步辐射装置可以借用。

同步辐射装置造价很贵。

如果是SSMB-EUV方案制造光刻机，成本能降低几倍。

而且‘光刻厂’占地其实不需要那么大，数百平米就足够了！

但‘光刻’只是芯片生产领域中一个工序而已！

依旧需要搭配配套的晶圆厂才行。

“你这个想法，可行性似乎有……我帮你联系夏科院、清大、以及燕都同步辐射光源实验室，看看能不能一起合作，解决这方面的问题。”

反正又不是官方出钱。

李易出钱！

高校、研究所、实验室，有人投入巨大科研经费，还是研究这种超前技术，基本上不会拒绝这种投资。

更何况，这方面还是内阁领导让科技部门出面协调，多少会给几分面子。

“那就先麻烦廖部长，这是臻诚银行账户，100亿资金已经准备好了，想必会更有说服力！”

廖部长和卓院士心里一阵感慨，直呼：好家伙。

100亿资金已经准备好了？

这100亿的资金，躺在银行账户里，确实更具有说服力。

“没问题！”

廖部长答应下来。

下一站，李易跟着廖部长前往夏科院。

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