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第三十二章 光刻机最大问题找到（第1页）

光源组的进度明显要比透镜组的进度要慢得多。

因为透镜组完成的只是按照图纸完成组装而已，核心的光掩膜延用一代，一天就能拿下。

但是负责光源的小组就会面临很多前所未有的难题。

比如液态金属锡低落的时间，激光发射的时间，命中率等等。

图纸可以把硬件做出来，但是这些精准的数据，需要将各种公式和逻辑放入系统之中，让系统来操控。

所以，给光源的部分设计一个系统才是重点。

如果滴落的液态金属锡过大，那么激光的强度就会衰弱。

就好比扬起一把沙子之后在用光照射，那么沙子的浓度越高，光就越难以穿透。

如此一来，控制一滴金属锡的大小浓度需要经过计算。

取到一个最恰当的值，录入系统，让机器来操作。

同样的还有命中率。

极紫外光和合成最关键的就是用深紫外光轰击液态金属锡，而且是两次！

当液态金属锡变成雾状的离子态，必须在极短时间之内，完成第二次深紫外光的命中。

穿过离子态金属锡的光，才能是极紫外光。

如果命中率低，第一次没命中，或者第二次没有命中，都会错过最佳时间，导致极紫外光无法产生。

这样下来，命中率必须达到100！

设计这些东西极其耗费时间。

一周的高强度工作状态下，才算是搞定了这个巨大核心。

而另一边的移动工件台是有一个不弱于光源组的难点。

有何毅伟坐镇，当陆晨加入工作的时候，移动工件台的一些难点已经克服。

三大核心用了半个多月才终于完成。

光刻机的内部硬件已经组装完毕。

又过了几天，光刻机已经成型。

他们开始了第一次芯片制造的测试。

何毅伟和一众教授都来到了实验室的总控台。

陆晨为了观察光刻机的一些运作情况，穿了防尘服，进入净室。

看到陆晨进来，几个工作人员纷纷打招呼。

陆晨点点头，来到了光刻机的旁边。

这台光刻机经过他的设计之后，体积远远没有国外的庞大。

国外的光刻机得有一个集装箱的大小，但是陆晨设计的这一款，只有一半的体积。

在经过他的检测之后，光刻机的状态全部确认完毕。

给总控台比了个手势，净室里的扬声器传来了声音。

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